聯(lián)盛半導(dǎo)體誠摯邀請您相聚全國第三代半導(dǎo)體材料與設(shè)備產(chǎn)業(yè)大會
公司簡介
聯(lián)盛半導(dǎo)體科技(無錫)有限公司成立于2023年5月，是山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司的全資子公司，工廠地址位于江蘇省無錫市錫山科創(chuàng)園，公司致力于半導(dǎo)體高端濕制程設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。
山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司目前已申請國家專利30多項，其中發(fā)明專利9項，并獲得國家高新技術(shù)企業(yè)，省級專精特新企業(yè)榮譽稱號，公司于2016年申請并通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，半導(dǎo)體專業(yè)認(rèn)證。并于2020年、2022年分別和山東大學(xué)微電子學(xué)院，青島大學(xué)電子信息工程學(xué)院建立產(chǎn)學(xué)研合作，同時總經(jīng)理馬玉水被青島大學(xué)聘為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)導(dǎo)師。
我們產(chǎn)品服務(wù)的領(lǐng)域包括硅材料、化合物半導(dǎo)體材料、陶瓷、玻璃等，主要設(shè)備有:全自動RCA清洗機、全自動鍍鎳鍍金清洗機、全自動最終清洗機、全自動腐蝕減薄清洗機、全自動去邊清洗機、全自動溝槽蝕刻機、全自動二氧化硅蝕刻機、爐管清洗機、CVD前清洗機、CDS(SDS)系統(tǒng)、BClean、Oxide Remove、Nitride Remove、PR Strip、Lift Off、Particle Remove、Solvent Clean、Metal Etch、M2 Clean.
產(chǎn)品展示
全自動腐蝕機
1、晶圓浸泡式腐蝕清洗，特制轉(zhuǎn)籠晶圓自動旋轉(zhuǎn)和提拉。2、工藝結(jié)果具備高度的均勻一致性，確保腐蝕效果。3、氮氣鼓泡功能，運行中氮氣管路可在酸槽內(nèi)平行均勻移動，鼓泡速率可調(diào)節(jié)。4、化學(xué)藥液多級精細(xì)過濾，循環(huán)利用并自動補液。5、具有MES系統(tǒng)的信息交互通訊能力。6、化學(xué)藥液具備InLine加熱冷卻恒溫功能。7、提供標(biāo)準(zhǔn)的制程解決方案。9、加工能力:晶片直徑4英寸至12英寸，每次數(shù)量75片/6英寸，50片/8英寸/12英寸。10、清洗機通過硬件、軟件配置來較大限度的保護(hù)硅片，在異常狀況下設(shè)備出現(xiàn)Down機。11、專利號:202311724028，2020208029174，202020802916X，2020208029051，2020208029051。單片清洗機
1、用于硅、碳化硅、氮化鎵等半導(dǎo)體材料的單片腐蝕、清洗、刷洗工藝。2、機臺可實現(xiàn)多尺寸兼容(4&6英寸;6&8英寸;12英寸)。3、工藝腔體經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，高性能FFU,配合可調(diào)節(jié)高度的CUP,形成一個穩(wěn)定強度的downflow，嚴(yán)格控制wafer 表面工藝區(qū)域的動態(tài)環(huán)境。4、可以實現(xiàn)藥液(酸/堿/有機)的排廢分離，無藥液的交叉污染。5、可適用襯底及外延清洗、PR strip、Oxide removal等工藝。6、支持 GEM/SECS協(xié)議，支持MES 系統(tǒng)聯(lián)機。全自動磨片后清洗機
1、機臺采用進(jìn)口板材，可長期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏。2、采用KOH、混酸、SC1對芯片表面有機和無機物的有效處理工藝設(shè)備，可清洗6"、8"硅片。3、可設(shè)計手動、全自動運行，全自動運行方式采用多只機械手作業(yè)，更有效提高效率降低成本。5、各工藝槽模組化設(shè)計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中，腐蝕槽設(shè)計底部排風(fēng)，降低排風(fēng)量。6、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC和HMI，可帶MES系統(tǒng)。7、設(shè)備設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。
生產(chǎn)環(huán)境
聯(lián)系方式
無錫工廠：江蘇省無錫市錫山區(qū)芙蓉中三路90號青云三座1樓生產(chǎn)基地：山東省高唐縣超越路創(chuàng)業(yè)示范園C棟咨詢電話：13671788984 / 13869598805 / 18663593909公司網(wǎng)址：www.vifille.com.cn
